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程控勻膠機(jī)具有真空通道進(jìn)膠安全保護(hù)功能

更新時(shí)間:2023-02-01  |  點(diǎn)擊率:1097
  程控勻膠機(jī)具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子、半導(dǎo)體、太陽能電池、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝,例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
  
  程控勻膠機(jī)的性能:
  
  1.轉(zhuǎn)速可控范圍:100-12000RPM,轉(zhuǎn)速分辨率:1RPM
  
  2.大單步步長3000S,旋轉(zhuǎn)時(shí)間分辨率0.1S
  
  3.加速度可控范圍:100-30000RPM/S
  
  4.可處理碎片(小于1cm)至6英寸(150mm)圓晶底物
  
  5.4.3寸全彩觸摸屏,提供觸屏筆操作,中英文界面可選
  
  6.可進(jìn)行多步程序運(yùn)行,多可存貯10組10步程序
  
  7.HDPE高分子耐腐蝕、易清潔內(nèi)腔,帶排廢功能
  
  8.SUS耐腐蝕不銹鋼機(jī)身,耐溶劑性PC透明蓋子
  
  9.帶一只自動點(diǎn)膠端口,可升級自動點(diǎn)膠功能
  
  10.100W直流無刷電機(jī),寬電壓適用:AC100-230V輸入
  
  11.帶真空和蓋子開關(guān)互鎖功能,確保操作安全
  
  12.標(biāo)配三種規(guī)格鋁合金真空載物盤(直徑10mm、25mm、55mm)
  
  13.防堵膠功能設(shè)計(jì),真空通道進(jìn)膠安全保護(hù)功能
  
  14.外形尺寸:256(W)*358(D)*258(H)
  
  程控勻膠機(jī)是高精密的旋轉(zhuǎn)涂膜儀。主要為高等院校、科研院所、研發(fā)中心等進(jìn)行研究,開發(fā)各種功能薄膜所用。適用于半導(dǎo)體硅片、晶片、ITO導(dǎo)電玻璃、光學(xué)玻璃、生物薄膜、制版等工藝表面涂覆。
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